本标准规定了电子级水的电阻率的测试方法。本标准适用于测试电阻率为(0.5～18)MΩ·cm(20℃)的电子级水。

GB/T 11446. 3-11446. 10—1997言
GB/T11446.3~11446.10—1997是分别对GB11446.3—89电子级水测方法通则》、GB11446.4—89《电子级水电阻率的测试方法》、GB11446.5--89电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法》,GB11446.6-89《电子级水中痕量二氧化硅的分光光度测试方法》，GB11446.7—89“电子级水中痕量离子的离子色谱测试方法》，GB11446.8—89《电子级水中总有机碳的测试方法》、GB11116.9:89电子级水中微粒的仪器测试方法》.GB11446.10—89《电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法》进行修订。
由于GB/T11446.1增加了金属镍、硝酸根离子、磷酸根离子、硫胶根离厂的技术指标，在本标准中增加了原子吸收分光光度法测定金属镍以及用离下色谱法测定硝酸根，磷酸根，硫酸根的测试方法。细菌的测试方法只用滤膜培法，对测总有机碳方法也作了全新改写，对测试方法通则，测电阻率的方法，全硅的测定\方法等都作了些修订并重新改写。本标推从实施之日起，同时代弊G13 11446.3~11446.1089.
本标准由中华人民共和国电子工业部提出。本标小电子工亚部标准化研究所问口。本标准起草单位：中国科学院半导体研究所，电工业部标准化研究所。本标准主要起草人;闻瑞梅、李晓英,王在忠、徐学敏、有盼、刘任重、许秀欣。1范围
中华人民共和国国家标准
电子级水电阻率的测试方法
Test methods for resistivity of electronic grade wafer本标准规定了电子级水的电阻率的测试方法，本标准适用于测试电阻率为（0.5～18）Mn·cm(25℃)的电了级水。2引用标准
GB/T11446.41997
代替 GE 11446.4—89
下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各力应探讨使用下列标准最新版本的可能性，GB/T11446.1—1997电子级水
GR/T11446.31997电子级水测试方法通则3定义
3.1电阻率resistivity
在某温度下,边长为lom方体水的相对侧面间的电阻值，用符号β表示，单位为(n·cm)。纯水的理论电阻率为18.3M·cm(25C)。3.2电导率 clcctrical conductivity电导率为电率的倒数,用符号K表示,单位为(S/cm)纯水的理论电导率为0. 054 82 μS/cm(25c)。
4原理
测量水的电阻率需使用电导池，当平行板电导池两电极板间充满水，两电极板间有效距离为L(cn),空间截面积为A(cn)则电导池常数J(ctu-\)为：会
如果在某一温度下测得两电极问水的电阻为 R(Q).则该温度下水的电阻率(n·tm)皮电导率K(S/cm)分别为：
（3）
水的电肌率受水的纯度、温度及测量中各种四素(如测量方法、电容效应、极化效应等)的影响.纯水电阻率的测量是选择的动态测量，并采用温度校正的方法将测得测量值换算成25C的电阻率，以使丁还行比较，电阻率的温度修正曲线见附录A(标准的附录)。国家技术监督局19970901批准
1998-09-01实施
5试剂
GB/T 11446.4—1997
使用的水应符合GB/T11446.1电子级水的标准1级心子级水。用于配制氯化钾电导率标准液的水,还应暴露在实验室气筑,使之达到平衡。5.2氯化钾标雅裕液
固体电导率标准物质氯化钾（标准物质BW040T），使用前在110℃烘2h，冷后使用。配制溶液时，环境温度应为20℃±2℃。氯化钾标准搭液与电导率关系见附录B(标准的附录)。6仪器
6.1电导仪
本方法所使用的仪器，测量时过电导池的必须是交流信号，其频率可在25Hz~100Hz范出6.2电导池
对于1～I级水应使用常数 0,U1 cm-1~0. 1 cm\的电导池。电导池带数的选择见附录A，6.3温度计
温度计的测量范围应为0℃～35℃.精度为0.1℃。6.4恒温水浴槽
25C士0.1C恒温的水裕槽。
7试验步骤
7.1电导池常数的测定
用暴露于实验室空气中与空气中二氧化碳达到平衡的电子级水彻底清洗电导池，再用相应的氛化钾标泄溶液冲洗三次，然后将标推溶液充满电导池，放入恒温槽内，温度挖制准（25士0.1)C，稳定后.测量其电导Gx+按同样步骤测量配制标准溶液所用的水（已衡过)电导率K。按下式计算电导池常数：X,+K免费标准下载网－唯久标准网vv99
式中：K，——25C时，标准氟化钾溶液的电导率（由附录B查出）jtS/cm；Kz—25C时.配制标准溶液所用水的电导率+μS/cm；G.测出标准氯化钾溶液的电导，s;电导池常数的测定结果应精确至 0. 5%。7.2电阻率动态测量
7.2.1将测量装置与制水系统相连接通水并起尽管道、电导池中的气泡，调节水流速（·般不低于0. 3 m/s).并在电导池出水口安装好温度计。7.2.2按仪器说明书操作电导仪（预熟、调零、校正及测量等），待仪器读数稳定后，记录水温和电阻率值。
7.2.3在线测量应该使用带温度补偿的电导仪，可以直接读出25℃的电阻（导）率值，对十没有温度补偿的仪器，可按下列公式将1℃时测得的电阻P.换算为25C时的电阻率P（本公式适用范周为水温10℃~35):
( K)+ 0. 054 82
式中：Ps，换算成25C时的水的电阻率，Mn·cmAr'C时测得的水的电阻率，Ma·cm：(5)
GB/T 11446.4—1997
K.—r℃时理论纯水的电导率，μs/cm：—℃时水的修正系数；
0. 054 82—25℃时理论纯水的电导率,S/cm8
试验接告
试验报告的格式按GB/T11446.3—1997中第6章规定。注意事项
测量用的电阻率仪或电导率仪使用一定周期后必须对心导池常数，猛度补偿等进行检定。9.1
9.2新电导池在使用前应用丙酮去油，并用1岁左右的稀硝酸或盐酸处理。国家总
GB/T 11446.41997
附录A
(标准的附录）
电阻率的温度修正曲线
纯水电阻率
随湿度变化业线
实测:20 C时:3. 4Mn · cmu
查得：25℃时，3.0MQcm
温度(C)
氯化钾标准浓度溶液
GB/T 11446.4—1997
附录B
（标准的附录）
氟化钾电导率标准溶液的浓度和电导率值电导率
0. 092 12
0. 010 455
0. 001 141 4
0.000 113 5
应用上述标准溶液时应遵守如下条件：18℃
. 197 80
0. 001 220 0
0. 000 126 7
a）电导率标推物质氯化钾需在 110 下烘2 h。b）配制标准溶液时便用感量为 0.1 ng 的天半。20r
C. 011 644
0.001 2737
0. 000 132 2
0. 012 352
0.0014083
0.000 146 5
t）配制标准溶液时，环境温度为（20=2)校准时标准溶液的避度变化范围为（20=0.1)C：不同电阻率范围内采用的电导池常数及标准溶液浓度电率范围
Mn·cm
0. 3 ~-10. 0
0.03-1.00
0. 003~0. 100
电导池常数
a1或 0, 10
0.1或 1. 0
.0（铂）
0. 001 687 6
0. 000 176 5
标雄溶液法度
0. 01或 0. 001
0.01或0. 001
0.01或0. 1
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